Product Information
POLYPAS (FPシリーズ)
シリコンウエハー、半導体材料、光学レンズ、金属などのストックリムーバル（一次研磨）用に開発された不織布タイプの研磨材です。ストックリムーバル時の要求品質に応じて、軟質から硬質タイプまでラインアップを幅広く用意しております。
(01)
用途
- シリコン・化合物半導体ウエハーの一次及び仕上げ研磨用
- 光学レンズ用・各種光学ガラス部品の研磨用
- その他、プラスチックレンズ・ステンレス・銅板等の研磨用
(02)
特徴
- 高平担性
- 低スクラッチ
- 各種製品の物性・特性に関しては、お問い合わせください。
(03)
二次加工及び
出荷形態
- POLYPASシリーズは全ての研磨パッドの裏面に両面テープ付で供給が可能です。
- ご希望により、パッドに溝加工が可能です。
- POLYPASパッドの出荷形態はご希望により、丸形、四角形、ドーナツ形など、指定サイズ、形状に応じて、いずれにも対応できます。
